氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法-加工技术-材料制备及加工技术-技术-北方有色网

简介： 本发明提供一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法，属于电子材料与元器件领域。该介质薄膜化学组成的化学通式为(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF，其中0.005≤x≤0.02，0.0025≤y≤0.03，y为质量分数，Re为La、Ce、Pr中的一种或两种元素。采用溶胶凝胶法制备，分别配制Ba1‑xRexTiO3和LiF前驱体溶液；通过分别旋涂、干燥、热解、退火、扩散，最终形成(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF固溶体。本发明通过掺杂，并在制备时调节退火温度、退火时间控制氟的挥发，从而获得温度稳定性好、耐击穿强度高的介电薄膜。

本发明提供一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法，属于电子材料与元器件领域。该介质薄膜化学组成的化学通式为(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF，其中0.005≤x≤0.02，0.0025≤y≤0.03，y为质量分数，Re为La、Ce、Pr中的一种或两种元素。采用溶胶凝胶法制备，分别配制Ba1‑xRexTiO3和LiF前驱体溶液；通过分别旋涂、干燥、热解、退火、扩散，最终形成(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF固溶体。本发明通过掺杂，并在制备时调节退火温度、退火时间控制氟的挥发，从而获得温度稳定性好、耐击穿强度高的介电薄膜。