简介： 本发明公开了一种基于薄膜铌酸锂波导的不等臂马赫‑曾德尔干涉仪，用于解决量子密钥系统中随着成码率需求越来越大，不等臂光纤延时越来越小而无法通过光纤熔接的方式实现的问题。将量子密钥分发系统中的马赫‑曾德尔调制器、不等臂干涉环在集成波导上实现。包括Y分支分束器、Y分支合束器，下参考臂波导、上左延时波导，上右延时波导、相位调制区。上左延时波导和上右延时波导结构相同，且空间位置对称。当一束脉冲信号通过Y分支分束器，被分成了上下两路信号。下路信号经过Y分支分束器下臂直接到达Y分支合束器的下臂。另一路信号经过一段延时调制之后进入到Y分支分束器的上臂。两路光信号相互干涉，使特定的频率信号增强，相反则使得特定的频率信号相消。通过调节偏置电压，可以实现干涉相位精细可调，从而改变光传感、通信系统的性能，有利于提升量子密钥分发系统的成码率和小型化发展。