简介： 一种锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法，属于新能源材料领域。热处理后的二氧化钛纳米管阵列作为基体，经过抽真空、加热、预溅射、溅射后，冷却至40～80℃取出，其中溅射为：打开射频电源溅射硅；溅射过程中基体加热，完成后冷却至40～80℃后取出样品。将其作为负极载体材料，采用磁控溅射技术将硅溅射到二氧化钛纳米管薄膜表面和内部，沉积效率高，方法简便，重复性好。