简介： 本发明公开了一种聚合物锂离子电池的负极材料碳纳米管涂附工艺，包括以下步骤：将基底放在工作台上，开启第一直联泵和第二直联泵再同时开启第一电磁阀、第二电磁阀、蝶阀、插板阀和球阀，当真空室和高真空室压强小于1Pa时, 关闭第二电磁阀和蝶阀，再启动分子泵同时开始使加热装置加热；调节球阀使第二真空计显示在5×10-3Pa及第一真空计显示在3×10-1Pa，这时的第三真空计应该显示在≤5×10-4Pa；当温度计显示在1200℃时保温2min，设定第一质量流量计为1l/min和第二质量流量计为2l/min，开启第一针阀，保持10秒，然后开启第二针阀，保持22秒，完成碳纳米管涂附。