锂离子电池基材表面镀膜机构
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锂离子电池基材表面镀膜机构
来源:北方有色网
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简介: 本实用新型公开了一种锂离子电池基材表面镀膜机构,包括真空箱体、升降驱动件、溅射镀膜装置,溅射镀膜装置包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构,阴极结构固定连接在屏蔽罩内,支撑连接板的下方固定连接有遮挡板,遮挡板上均匀开设有多个矩形孔;水冷装置的底端与阴极结构对应,本实用新型通过设置屏蔽罩阻挡靶材向周围溅射,同时保证阴极溅射稳定和膜层厚度一致性较好,并通过设置在靶材与基材之间的遮挡板,使得通过矩形孔溅射到基材上形成的膜层形状规则,并且镀膜层宽度与矩形孔宽度相同,每条镀膜层之间均有间隙,方便后续切割和连接电极线;并且可以通过水冷装置对阴极结构进行降温,提高使用寿命。
本实用新型公开了一种离子电池基材表面镀膜机构,包括真空箱体、升降驱动件、溅射镀膜装置,溅射镀膜装置包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构,阴极结构固定连接在屏蔽罩内,支撑连接板的下方固定连接有遮挡板,遮挡板上均匀开设有多个矩形孔;水冷装置的底端与阴极结构对应,本实用新型通过设置屏蔽罩阻挡靶材向周围溅射,同时保证阴极溅射稳定和膜层厚度一致性较好,并通过设置在靶材与基材之间的遮挡板,使得通过矩形孔溅射到基材上形成的膜层形状规则,并且镀膜层宽度与矩形孔宽度相同,每条镀膜层之间均有间隙,方便后续切割和连接电极线;并且可以通过水冷装置对阴极结构进行降温,提高使用寿命。
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