简介： 本发明提供一种SiOx，在其升温脱气分析中，于200～800℃的温度范围检测到的H2O气体产生量为680ppm以下。在此，H2O气体产生量进一步优选为420ppm以下。另外，在通过X射线衍射而得到的图中，优选在2θ＝28°附近产生的Si峰值点处的峰值强度P1和根据峰值点前后的平均斜度设定的峰值点处的基本强度P2满足(P1-P2)/P2≤0.2。通过将本发明的SiOx用作蒸镀材料，在成膜时可抑制喷溅的产生，可形成气体阻挡性优异的蒸镀膜。另外，通过将本发明的SiOx用作为负极活性物质，可较高地维持锂离子二次电池的初始效率。