简介： 本发明公开了一种薄膜铌酸锂电光调制器及其制备方法。包括从下到上依次布置的衬底、埋氧层、聚合物层和光波导层，在光波导层上面或者在光波导层下面的聚合物层之中布置金属信号电极与金属接地电极，光波导层上底面布置形成1*2分束器、马赫曾德尔调制器和2*1合束器，1*2分束器和2*1合束器位于马赫曾德尔调制器的两侧，且1*2分束器的两个输出端经马赫曾德尔调制器和2*1合束器的两个输入端连接。本发明避免工艺过程中由衬底带来的微波损耗，降低工艺难度，提高调制效率，实现了超大带宽，低损耗，实现紧凑且超高性能的电光调制器。