简介： 本发明公开了一种锂电池硅基薄膜负极片及其制备方法，采用卷对卷磁控溅射技术直接制备硅基薄膜负极片，在溅射硅或氧化亚硅薄膜处于岛状成膜阶段，引入脉冲式快速光热退火，使其快速凝聚成纳米微球，进而引入类石墨碳缓冲层填补纳米球间隙并覆盖的方式，可以有效抑制纳米硅基材料的膨胀，同时增强了极片的导电性。