简介： 公开了声波谐振器器件、滤波器和方法。声波谐振器包括基板和具有正面和背面以及厚度ts的铌酸锂(LN)板。背面附接到基板的表面。LN板的一部分形成跨过基板中的空腔的隔膜。叉指换能器(IDT)在LN板的正面形成，其中IDT的交错的指状物设置在隔膜上。LN板和IDT被配置成使得施加到IDT的射频信号激发隔膜中的剪切主声波。LN板的欧拉角为[0°，β，0°]，其中0<β<60°。IDT的交错的指状物的厚度大于或等于0.8ts且小于或等于2.0ts。