简介： 本发明公开一种在锂电池用无纺布隔膜表面制备陶瓷膜的方法，在真空环境下，利用高能等离子体轰击聚酯无纺膜，将聚烃分子键部分打开，在聚烃分子键打开的同时，利用磁控溅射阴极反应溅射Si靶材，形成Si3N4陶瓷材料并嵌入到被打开的聚烃分子键位置，通过对磁控溅射阴极的温度、气氛、功率等的控制，形成一层致密的陶瓷涂层，由分子键结合的陶瓷涂层，大大提高了与聚酯膜的结合力，通过精密控制陶瓷膜厚，可以改变无纺布的孔径及孔分布均匀性，同时提高无纺布作为锂电池隔膜用是的机械强度。