简介： 本发明提供一种锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，包括下述步骤：(1)选用作为薄膜电极集流体的金属箔作为磁控溅射的基底，并进行基底清洗；(2)调节溅射室气压至1.0×10－3Pa或以上，然后通入惰性气体并调节气压在0.1～10Pa范围；(3)磁控溅射制备铝锡合金薄膜，需调节溅射功率在10W～5kW范围，溅射类型为直流磁控溅射或射频磁控溅射，溅射沉积时间在10～60分钟范围。由上述方法制备的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜由固溶体合金材料铝锡合金构成，所述铝锡合金中锡的含量为25～75％，其余为铝。本发明操作工艺简单，成本低，效率高，无副产物；制备出的薄膜电极材料晶粒均匀细小，结晶度和力学性能良好。