简介： 本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池及其制备方法。首先采用三靶间歇式共沉积法结合高温原位退火技术，在正极集流体上制备复合正极薄膜；然后采用反应式溅射沉积法结合低温原位退火技术，在复合正极薄膜上制备固态电解质薄膜；接着采用双靶持续式共沉积法，在固态电解质薄膜上制备复合负极薄膜；最后采用单靶沉积法，在复合负极薄膜上制备负极集流体薄膜，封装得到全固态薄膜锂离子电池。测试结果表明，该电池的固态电解质具有较高的离子电导率，并且与正负极薄膜表层界面间相互渗透，实现了真正的固‑固接触，从而提高了电池的比容量和充放电性能。