简介： 本发明提供了一种锂离子电池多层硅/碳薄膜负极极片及其制备方法，涉及新能源电池材料制备技术领域，包括以下步骤：将集流体装配到夹具上后置入管式炉中抽真空，通入惰性气体至常压后升温到反应温度，通入含硅反应气体生长二维层状硅薄膜，然后升温至反应温度，通入含碳反应气体生长二维层状碳层，最后往复循环生长多层硅/碳薄膜层得到多层硅/碳薄膜负极极片。本发明通过在集流体上原位生长硅层与碳层，免去了传统锂离子电池负极极片需要的匀浆、涂布和烘干等步骤，提高了生产效率；多层的硅/碳薄膜层能够有效缓解体积效应，提高循环寿命，同时多层结构能够提高面负载量；硅层通过掺杂提高了导电性，提升大倍率充放电性能。