简介： 本发明属于化学电源领域,具体涉及锂离子电池用锡钛薄膜负极的磁控溅射制备方法。其特征在于,使用纯锡和纯钛两个靶交替溅射或者共溅射制备锡钛薄膜,然后在室温至300℃间保持0-6h退火处理。在两靶交替溅射方法中,交替次数大于1时,根据首先溅射的物质,可以形成Sn/Ti或Ti/Sn叠层膜。本发明所公开的方法工艺简单,成本低,有利于环保;所制备的薄膜用作锂离子电池负极,具有较高的比容量和优异的循环性能。