钽酸锂晶片黑化装置及其使用方法
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钽酸锂晶片黑化装置及其使用方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种钽酸锂晶片黑化装置及其使用方法。包括盛装管,以及放置在盛装管内部的晶片放置装置,所述晶片放置装置包括底板、盖板以及设置在两者之间的多个治具,所述晶片放置装置通过底板水平放置在盛装管内部,所述治具为环状结构并且在其环状结构的两个端面均开设有通槽,多个治具重叠水平放置在底板上,且相邻治具间的通槽交错排列,所述盖板靠近治具的一侧还设置有重块,所述重块与治具内环匹配能够嵌入治具内环。本发明提高了钽酸锂晶片黑化均匀性。
本发明公开了一种钽酸晶片黑化装置及其使用方法。包括盛装管,以及放置在盛装管内部的晶片放置装置,所述晶片放置装置包括底板、盖板以及设置在两者之间的多个治具,所述晶片放置装置通过底板水平放置在盛装管内部,所述治具为环状结构并且在其环状结构的两个端面均开设有通槽,多个治具重叠水平放置在底板上,且相邻治具间的通槽交错排列,所述盖板靠近治具的一侧还设置有重块,所述重块与治具内环匹配能够嵌入治具内环。本发明提高了钽酸锂晶片黑化均匀性。
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