简介： 本申请公开了一种基于薄膜铌酸锂的片上起偏器及其制作方法，本起偏器包括自下而上依次布置的基底层、缓冲层、波导芯层和波导上包层；其中，基底层、缓冲层和波导上包层用于保护波导芯层；波导芯层中包含有起偏波导系统，起偏波导系统包括锥形波导传输段、连接波导段、非对称Y分支段、输出波导段、吸收波导段；锥形波导传输段、连接波导段和非对称Y分支段顺序连接；输出波导段的输入端和吸收波导段的输入端均连接非对称Y分支段的输出端。本申请在薄膜铌酸锂片上实现起偏功能，有助于实现基于单片集成光子芯片的光纤陀螺，便于减小器件尺寸，有利于器件的集成化和芯片的小型化；工艺技术成熟，可以有效降低成本。