用于超大尺寸长等径铌酸锂生长的装置和方法
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用于超大尺寸长等径铌酸锂生长的装置和方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种用于超大尺寸长等径铌酸锂生长的装置和方法,所述装置包括生长装置与加料装置;生长装置包括第一坩埚及第一保温层;第一保温层和第一坩埚之间设有生长加热器;第一坩埚上方设有可旋转升降的籽晶杆,籽晶杆贯穿第一保温层的顶部;加料装置包括第二坩埚及第二保温层,第二坩埚与第二保温层之间设有化料加热器;第二坩埚的上方设有加料管,加料管穿过第二保温层;第一坩埚的底部通过输料管与第二坩埚的底部连通;输料管的外壁上设有输料加热器。本发明采用化料与生长相分离的方法,通过输料管的热量带入生长区熔体中心使得生长区域温度更均匀,以及及时补充原料的方法,避免了生长界面过冷导致的大尺寸铌酸锂晶体拖尾现象。
本发明公开了一种用于超大尺寸长等径铌酸生长的装置和方法,所述装置包括生长装置与加料装置;生长装置包括第一坩埚及第一保温层;第一保温层和第一坩埚之间设有生长加热器;第一坩埚上方设有可旋转升降的籽晶杆,籽晶杆贯穿第一保温层的顶部;加料装置包括第二坩埚及第二保温层,第二坩埚与第二保温层之间设有化料加热器;第二坩埚的上方设有加料管,加料管穿过第二保温层;第一坩埚的底部通过输料管与第二坩埚的底部连通;输料管的外壁上设有输料加热器。本发明采用化料与生长相分离的方法,通过输料管的热量带入生长区熔体中心使得生长区域温度更均匀,以及及时补充原料的方法,避免了生长界面过冷导致的大尺寸铌酸锂晶体拖尾现象。
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