简介： 本发明提供了一种全固态薄膜锂电池的制备方法，包括：在第一衬底的表面制备第二衬底；在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板，光刻蚀处理使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构；在所述第二衬底的微纳结构表面溅射沉积保护材料，制备第一保护层；在所述第一保护层的表面制备阴极集流体；在所述阴极集流体的表面溅射制备电池阴极；在所述电池阴极的表面制备电解质层；在所述电解质层的表面制备电池阳极；在所述电池阳极的表面制备阳极集流体，形成固态电池单元；在所述固态电池单元的表面制备第二保护层；将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中，清洗处理去除光刻胶材料，得到整体呈微纳结构的全固态薄膜锂电池。