简介： 本实用新型提供一种铌酸锂调制器芯片的清洗系统，预冲洗装置，用于提供雾化清洗液以冲洗待清洗的芯片；丙酮浸泡装置，用于以丙酮浸泡经所述预冲洗装置的雾化清洗液冲洗后的芯片；酒精浸泡装置，用于以酒精浸泡经所述丙酮浸泡装置处理后的芯片；强氧化剂清洗装置，用于以强氧化剂清洗液浸泡经所述酒精浸泡装置处理后的芯片；除杂冲洗装置，用于提供雾化清洗液以冲洗经强氧化剂清洗装置处理后的芯片。本实用新型提供的铌酸锂调制器芯片的清洗系统，利用该清洗系统可改善芯片表面的清洁度，可有效提高芯片合格率。