简介： 本发明公开了一种全固态薄膜锂离子电池3D薄膜负极及其制备方法，其中，全固态薄膜锂离子电池3D薄膜负极包括三维交错结构的电极集流体和覆盖在所述电极集流体表面的负极薄膜；所述负极薄膜是采用金属锑作为溅射靶、硫化氢气体作为反应气体，通过反应性磁控溅射法在所述电极集流体上沉积所形成的纳米颗粒结构的Sb₂S₃薄膜。本发明的技术方案中，因为在3D基底上原位生长的Sb₂S₃负极薄膜为纳米颗粒，颗粒之间呈二维结构，导电基底为交错网状结构，所以能够有效缓解Sb₂S₃负极材料在充放电过程中的体积效应，制得的3D薄膜负极比容量高，倍率及循环性能优良。