简介： 本实用新型公开了一种钽酸锂芯片的研磨装置，包括机台，机台上设有可转动的下研磨盘，下研磨盘为圆形；下研磨盘上设有能转动的上研磨盘，上研磨盘也为圆形，且直径与下研磨盘一致；上研磨盘的转动轴心与下研磨盘一致，但转动方向相反；机台还设有频率监测装置，上研磨盘的上端面设有多个供频率监测装置的探测头伸入的通孔，频率监测装置与驱动下研磨盘和上研磨盘的电机电气连接。该实用新型的一种钽酸锂芯片的研磨装置，能提高钽酸锂芯片的研磨的成品率，且加工成本低。