简介： 本发明属于电池制造技术和真空镀膜技术领域，涉及一种生产全固态薄膜锂电池的方法和设备。本发明采用真空镀膜机在不暴露空气环境下，在基板上方制造单芯电池。电池结构采用N次重复的单芯电池堆垛单元，无需外加线路，结构上自然形成高电压薄膜锂电池，电池目前的实测稳定电压为6V‑100V；该电池在结构上分为两款：第一款是含有负极的高电压电池，第二款是无负极的高电压电池。本发明实现程序化往复镀膜，避免了暴露真空而导致薄膜受到空气污染，从而实现生产高电压薄膜锂电池制备的连续性和一致性。在生产过程中，各工序步骤可连续，无互扰，相对传统设备生产效率提高了30％以上。