用于形成薄膜锂离子电池的方法
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用于形成薄膜锂离子电池的方法
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简介: 一种用于形成锂离子型电池的方法,包括以下连续步骤:在衬底中形成沟道;相继且保形地沉积包括阴极集电极层、阴极层、电解质层、以及阳极层的层叠,该层叠具有的厚度小于所述沟道的深度;在所述结构上形成填充所述沟道中剩余的空间的阳极集电极层;以及平坦化所述结构,以露出所述阴极集电极层的上表面。
一种用于形成离子型电池的方法,包括以下连续步骤:在衬底中形成沟道;相继且保形地沉积包括阴极集电极层、阴极层、电解质层、以及阳极层的层叠,该层叠具有的厚度小于所述沟道的深度;在所述结构上形成填充所述沟道中剩余的空间的阳极集电极层;以及平坦化所述结构,以露出所述阴极集电极层的上表面。
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