简介： 本发明公开了一种在电致变色器件中富集锂的方法，其特征在于，包括：将第一靶材以惰性气体掺杂第一反应气在第一导电层上进行反应溅射，形成电致变色层，沉积所述电致变色层时，使用含锂靶材以所述惰性气体掺杂第二反应气，与所述电致变色层进行共沉积或交错沉积；在所述电致变色层上形成离子传导层；在所述离子传导层上形成离子存储层；在所述离子存储层上形成第二导电层。本发明的技术效果在于：在电致变色层中形成局部锂含量的高浓度，提升了电致变色器件的着色对比度和稳定性。