简介： 本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，电解质薄膜为非晶无定形态的氮化磷酸锂薄膜，该制备方法采用射频磁控溅射方法。本发明方法制备的LiPON薄膜为非晶无定形态，离子电导率大于2×10-6S/cm，并且具有热力学稳定性好和电化学窗口宽等良好的电化学性能，是非常理想的固体电解质材料，特别适于生产体积小、高能量密度、寿命长的全固态薄膜锂离子电池。