简介： 本发明公开了一种薄膜锂电池的制备方法，包括采用Al₂O₃单晶衬底为薄膜锂电池的基底，采用DC磁控溅射将弱取向的多晶Au膜进行沉积；采用红外激光加热，并在真空环境下退火；在脉冲激光沉积系统中，沉积LCO膜作为阴极，采用Li_1.2CoO₂的烧结陶瓷靶材；在射频磁控溅射沉积系统中，采用RF磁控溅射沉积的LiPON固体电解质层；采用常规蒸发方法将用于阳极的金属Li膜沉积在LiPON层上。本发明制备的薄膜电池也性能稳定，获得了清洁的电解质/电极界面，避免表面污染，实现全固态电池的较低界面电阻。