简介： 本发明属于集成光学技术领域，具体公开了一种利用溶胶凝胶方法中的DC－RTA技术，制备适用于离子交换的掺锂玻璃薄膜的工艺。该工艺的主要内容是首先配制好含有适当锂离子的溶胶，然后将该溶胶均匀涂覆在基片上后高温灼烧，使基片表面形成一层凝胶玻璃层。反复上述涂覆灼烧过程，直至凝胶玻璃层达到所需厚度。该薄膜具有理想的光学质量，并且可以使用传统的离子交换工艺进行Ag+－Li+离子交换。该技术可以用来帮助生产、开发各类以硅酸盐材料为基质的无源或有源光波导器件。在集成光学领域具有巨大的应用前景和工业价值。