简介： 本发明提供用于制备无定形硼硅酸锂化合物或掺杂的硼硅酸锂化合物的气相沉积方法，所述方法包括：提供所述化合物的每种组分元素的蒸气源，其中所述蒸气源至少包括锂源、氧源、硼源和硅源、以及任选的至少一种掺杂剂元素源；以低于约180℃的温度提供基底；输送所述锂、所述氧、所述硼和所述硅以及任选的所述掺杂剂元素的流，其中所述氧的流速为至少约8×10^‑8m³/s；以及将来自所述蒸气源的组分元素共沉积到所述基底上，其中所述组分元素在所述基底上反应以形成所述无定形化合物。