简介： 本发明公开了一种大尺寸钽酸锂衬底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，将经双面研磨后的钽酸锂衬底片放入旋转加工台的工件位中，利用喷射处理装置将磨料粉末喷射到钽酸锂衬底片的加工面上以达到所需的粗糙度。本发明特别适用于≥4英寸的钽酸锂衬底片的背面粗糙度的加工，其优势在于：一是相对于传统的只是通过双面研磨加工粗糙度的工艺，具有面内粗糙度偏差小、稳定性高的特点；二是可以有效的避免因为双面研磨而产生的背面不良问题；三是在前道的双面研磨过程中，可以使用3μm～50μm的磨料细粉加工，这样可以减少后续的减薄和抛光的去除量，从而提高加工效率和降低加工成本。