简介： 本发明提供了一种利用酯及其衍生物回用六氟磷酸锂合成尾气中五氟化磷的方法，将酯及其衍生物与六氟磷酸锂合成尾气中的五氟化磷反应形成固态或液态配合物，将所述固态或液态配合物分离出来，再对所述固态或液态配合物加热释放出五氟化磷，将释放的五氟化磷净化后二次导入六氟磷酸锂合系统。该方法原料利用率高，减少污染。