简介： 用于制备不含磷的无定形含锂氧化物或氧氮化物化合物的气相沉积法包括：提供该化合物的每一组成元素的蒸气源，该蒸气源包括至少锂源、氧源、氧氮化物化合物的情况下的氮源、和一个或多个玻璃形成元素源；将基材加热到基本上180℃或更高；和从该蒸气源将该组成元素共沉积到该加热的基材上，其中该组成元素在该基材上反应以形成该无定形化合物。