简介： 本实用新型涉及电子级氟化锂装置尾气处理装置，包括第一风机、一级降膜吸收器、二级降膜吸收器、接收罐、喷淋碱洗塔、碱液补充池、第二风机、分子筛过滤器以及颗粒过滤器，氟尾气通过所述第一风机送入一级降膜吸收器，所述一级降膜吸收器的排气管与二级降膜吸收器的进气管连通，所述一级降膜吸收器和二级降膜吸收器的底部排液管均通向接收罐，所述二级降膜吸收器的排气管通向喷淋碱洗塔，本实用新型采用水吸收加碱洗塔喷淋的方法回收并净化高纯氟化锂装置尾气；选择降膜水吸收方法，提高尾气脱氟率；同时水吸收得到的氢氟酸重新返回氟化锂制备装置中，充分回收利用氟资源；技术流程简单，吸收剂价廉易得，运行成本低。