简介： 本发明涉及电池领域，且公开了一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法，该制备方法适用于制备机器人锂电池生产用全固态薄膜，其特征在于，包括以下步骤：选取基底层，用500目‑3000目的砂纸对基片表面进行机械抛光，直至表面能发生镜面反射；采用磁控溅射技术在基底表面沉积一层金属流体层；采用负极活性物质材料作为靶材，安装好靶材和基片以后关闭送样室和外延室，利用机械泵，分子泵，离子泵将外延室真空抽至1×10‑7Pa以下，调整靶材与基片间的距离为60mm，自转速率为10‑15转/min，预溅射2‑4h以上，采用对耙交替沉积的方法，每一块靶材轰击10‑15下，本发明一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法，可以提高固态膜的密度，稳定性好。