简介： 本发明公开了一种钴酸锂复合薄膜电极及其制备方法。采用多靶共溅射技术同时溅射钴酸锂靶材及铝靶材制备铝掺杂改性的钴酸锂复合薄膜电极，通过调节钴酸锂靶及铝靶的溅射参数及靶材成分来调控复合薄膜的成分及结构，从而实现高性能钴酸锂复合薄膜电极的制备。本发明具有制备过程简单易于控制，金属铝在薄膜中形成导电网络，使其导电性显著增加，在共溅射过程中部分铝会进入到钴酸锂晶格，形成LiAl_yCo_1‑yO₂固溶体，该固溶体的存在一方面能促进锂离子的输运，另一方面将提高电极循环稳定性的有益效果。