简介： 公开了一种制造平面锂靶材组件的设备，包括：真空室；与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置；用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件，其中所述支撑件和所述施压件以可移除的方式置于所述真空室中；加热装置，用于加热被所述支撑件支撑的初始靶材组件。本实用新型的技术方案解决了平面锂靶材生产中靶材质量不佳的问题，所制造的靶材组件具有高抗拉强度，还可以解决金属锂柔软和黏性所导致的生产问题，使靶材组件的生产简洁易行，且基本无原材料浪费。