简介： 本发明涉及一种高沉积速率制备锂离子固体电 解质薄膜的方法。它采用脉冲激光沉积法与氮离子源发生器相 结合制备氮化的Li3PO4薄膜，简称锂磷氧氮(LiPON)，沉积速率快，每小时可达0.8～2.0μm。采用本发明制备的锂磷氧氮薄膜，其Li离子传导率可达2～5×10－6s/cm。结合V2O5和MoO3等其它薄膜电极与热蒸发制备的金属锂薄膜电极可组装成全固态薄膜锂离子电池，该电池具有良好的充放电性能。