简介： 本发明涉及全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法。该方法主要包括选料、烧结前处理、热压烧结、靶材后处理等步骤组成,可以制造的靶材有:LiCoO2、LiFePO4、Li3PO4等。该方法使用石墨模具,用钼箔做模具与靶材的隔离材料,上下表面均用钼箔作为保护。预压1～5MPa,抽真空至10-3Pa,以10～15℃/min的速度加热至100～400℃,保温0.5h～1h,充入氩气。然后以10～15℃/min的速度加热至400℃～1000℃,逐步升温,加压,最终的烧结压力为20～60MPa,保温1～5h。保压随炉冷,取出将表层磨掉。该方法能够获得高纯,高致密的全固态薄膜锂离子电池用靶材,工艺过程设计简单易行,成本较低。