简介： 本发明涉及二氟磷酸锂的制造方法。目的在于提供：减少杂质的混入、且工业上制造对提高非水电解液电池的性能有效的添加剂即二氟磷酸锂的方法。使用二氟磷酸锂的制造方法，其特征在于，所述制造方法具备：反应工序，使LiPF₆与水与以下通式(1)所示卤化物在非水溶剂中反应；添加工序，在反应工序后的溶液中添加氟化氢；和，脱气工序，对添加工序后的溶液进行脱气处理。R_pSiX_q(1)(通式(1)中，R分别独立地为碳数1～10的任选具有杂原子、卤素原子的烃基(碳数为3以上时，也能使用支链或环状结构的烃基)。X分别独立地为选自由Cl、Br和I组成的组中的任意1种。p表示1～3的整数、q表示1～3的整数，p+q＝4)。