制作铌酸锂薄膜材料的方法
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制作铌酸锂薄膜材料的方法
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简介: 一种工艺过程,用来制作铌酸锂薄膜,在铌酸锂与二氧化硅直接键合前,将铌酸锂表面或二氧化硅表面或两表面同时覆盖一层氨基。采用此工艺过程可得到大面积的形状规则的铌酸锂薄膜。
一种工艺过程,用来制作铌酸薄膜,在铌酸锂与二氧化硅直接键合前,将铌酸锂表面或二氧化硅表面或两表面同时覆盖一层氨基。采用此工艺过程可得到大面积的形状规则的铌酸锂薄膜。
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