简介： 本发明公开了一种钴酸锂靶材及其制备方法,该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材制备方法包括以下步骤:(1)提供钴酸锂粉末,并将其液压成型为坯件;(2)对所述的坯件进行冷等静压加工;(3)将经过步骤(2)的坯件置于炉中进行烧结,烧结过程采用了多阶段升温加压的方式。按照本发明方法制备的钴酸锂靶材,其晶粒尺寸细小且致密度高。在适当条件下,溅射这些靶材能获得性能优良的薄膜,从而提高全固态薄膜锂离子电池的储能量和循环次数。