简介： 本发明属于电化学材料技术领域，具体为一种锂离子电池阳极薄膜材料Sb3N及其制备方法。本发明的Sb3N薄膜是在氮气氛中经射频磁控溅射反应性沉积在基片上获得，薄膜的粒子尺寸为20～50nm，呈无定形结构。以上述Sb3N薄膜为电极，与金属锂组成电池后，其放电平台出现在1.45V，1.25V和0.8V左右(相对于Li/Li+)。在电压范围3.50－0.3V和电流密度7μA/cm2时，上述薄膜电极具有良好的充放电循环可逆性，其比容量保持在600mAh/g以上。经50次循环后无明显的衰减。这些结果表明，本发明的薄膜作为阳极材料，比目前使用的各种薄膜阳极材料更具优越性，可应用于全固态薄膜锂离子电池。