简介： 本发明公开了一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法。通过将锂电池整理设置为MEMS悬臂梁结构，硅负极层在电池充放电时的体积变化引起MEMS悬臂梁结构发生弯曲变形，有效释放和减小了由于硅体积变化在硅负极层内所引起的应力，降低了应力对硅负极层的损伤和破坏。本发明提供的MEMS微型固态锂离子电池具有尺寸小、结构简单、制作成本低、可靠性高、寿命长、能量密度高且具备在线检测功能等优点。