简介： 本发明属锂离子薄膜电池技术领域，具体涉及一种应用于全固态薄膜锂电池的正极材料钨酸铁锂薄膜(LiFe(WO4)2)及其制备方法，本发明采用射频磁控溅射沉积法制备非晶态钨酸铁锂薄膜，其特点是薄膜在室温下沉积，无需退火处理，与固态电解质薄膜可形成良好匹配的界面。结合射频磁控溅射制备的锂磷氧氮(LiPON)固态电解质薄膜与真空热蒸发制备的金属锂负极薄膜，组装成全固态薄膜锂电池。电池的比容量可达104mAh/cm2－μm，循环次数可达150次。这些结果表明：射频磁控溅射方法制备LiFe(WO4)2正极薄膜，能应用于全固态薄膜锂电池。