简介： 公开了一种平面锂靶材组件的制造方法和设备。平面锂靶材组件的制造方法包括：提供锂靶坯和背板，所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面，所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面；将所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面相对设置并贴合，形成初始组件；在真空环境中，使用施压块对所述锂靶坯的第一背面施加压力，同时加热所述初始组件，使所述锂靶坯与所述背板在贴合表面处发生扩散焊接，形成平面锂靶材组件。本发明技术方案解决了平面锂靶材生产中靶材质量不佳的问题，所制造的靶材组件具有高抗拉强度，还可以解决金属锂柔软和黏性所导致的生产问题，使靶材组件的生产简洁易行，且基本无原材料浪费。