简介： 本发明属于抛光液领域，具体涉及一种基于二氧化硅纳米磨料的钽酸锂材料化学机械抛光液及其制备方法。抛光液包括下述组分：纳米级二氧化硅溶胶固体浓度为5‑40%；一价阳离子无机盐或者一价阳离子有机盐的浓度为0.014‑0.35mol/L，余量为水。本申请将基于二氧化硅纳米磨料的钽酸锂材料化学机械抛光液中加入一价阳离子无机盐或者一价阳离子有机盐从而使一价阳离子与钽酸锂表面的锂离子发生交换作用，使得表面层特性与钽酸锂体材料产生差异，有利于材料表面借助机械摩擦作用被去除。