简介： 本发明提供了一种铌酸锂光波导的制备方法,该方法选用掺锌或者掺镁的铌酸锂晶体,采用外加电场极化的方法在掺杂铌酸锂晶体上制作周期畴反转结构,以此为波导层,通过折射率低于波导层的光学胶与铌酸锂或者钽酸锂衬底黏胶键合,再用ICP干法刻蚀出脊形波导结构,得到铌酸锂波导。本发明采用的胶层与空气折射率更接近,所以波导中光场限制作用更强且光场呈对称分布,与单模光纤的耦合效率更高。采用黏胶键合,使得晶圆表面洁净度和粗糙度的要求要远低于直接键合的晶圆表面,工艺上更容易实现。使得此方法制备的铌酸锂光波导在增强光场限制作用,降低波导传输损耗,抑制光折变效应以及降低制作工艺难度等方面有较优越的性能。