宽带温度不敏感和低色散的铌酸锂光波导结构及其应用
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宽带温度不敏感和低色散的铌酸锂光波导结构及其应用
来源:北方有色网
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简介:
本发明提供一种宽带温度不敏感和低色散的铌酸锂光波导结构,包括铌酸锂平板层,所述铌酸锂平板层上面设置有条状铌酸锂层;平板层和条状层铌酸锂上面有TiO
2
覆盖层;平板层下面是SiO
2
衬底层;本发明提出了利用具有负热光系数的TiO
2
覆盖到刻蚀的铌酸锂芯片上获得对温度不敏感的宽带低色散光波导,该结构能够加工成各种集成光子器件,可以极大提升器件性能。
本发明提供一种宽带温度不敏感和低色散的铌酸
锂
光波导结构,包括铌酸锂平板层,所述铌酸锂平板层上面设置有条状铌酸锂层;平板层和条状层铌酸锂上面有TiO
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覆盖层;平板层下面是SiO
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衬底层;本发明提出了利用具有负热光系数的TiO
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覆盖到刻蚀的铌酸锂
芯片
上获得对温度不敏感的宽带低色散光波导,该结构能够加工成各种集成光子器件,可以极大提升器件性能。
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标签:加工技术
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