钽酸锂晶体基片的黑化处理方法
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钽酸锂晶体基片的黑化处理方法
来源:北方有色网
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简介: 一种钽酸锂晶体基片的黑化处理方法,在化学还原气氛中,将金属片与钽酸锂晶体基片之表面进行粗化后以接触方式交替堆叠,置于低于居里温度的环境中,对钽酸锂晶体基片进行还原处理,使钽酸锂晶体基片由白色或淡黄色转变为有色不透明化,依然保持其原有之压电材料特性。钽酸锂晶体基片经还原处理可降低其体电阻率,可改善声表面波滤波器(SAW filter)制造过程中因温度差异引起热释电效应产生的放电现象,并提高叉指电极线条于光刻工艺的精度,有助于提升SAW器件制作的成品率降低生产成本。
一种钽酸晶体基片的黑化处理方法,在化学还原气氛中,将金属片与钽酸锂晶体基片之表面进行粗化后以接触方式交替堆叠,置于低于居里温度的环境中,对钽酸锂晶体基片进行还原处理,使钽酸锂晶体基片由白色或淡黄色转变为有色不透明化,依然保持其原有之压电材料特性。钽酸锂晶体基片经还原处理可降低其体电阻率,可改善声表面波滤波器(SAW filter)制造过程中因温度差异引起热释电效应产生的放电现象,并提高叉指电极线条于光刻工艺的精度,有助于提升SAW器件制作的成品率降低生产成本。
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