简介： 薄膜锂电池用电解质层材料磷酸锂靶材粉末冶金制备工艺，对磷酸锂粉体进行球磨、筛分处理，装模后进行冷等静压，将成型的素坯取出并置于真空烧结炉中进行阶段性升温烧结，最后将烧结冷却好的靶材取出，对其进行机械加工即可制得所需尺寸钴酸锂靶材成品；对上述制备的钴酸锂靶材进行扫描电镜分析，可得其晶粒尺寸细小且致密度高，约为98.4％。制备出的磷酸锂靶材晶粒尺寸细小且致密度高，保证材料的组织均匀，性能稳定，以及良好的冷、热加工性能；在适当条件下溅射这些靶材，可以获得性能优异的薄膜，从而提高全固态薄膜锂离子电池的储能量和循环次数。