简介： 本发明的目的在于提供一种锂电池用电极，使它在通过使用Si作 为主要成分的蒸发原料进行蒸镀来形成负极活性物质膜时，可以提高 成膜速率，具有良好的生产率，且保持高水平的充放电容量。本发明 的锂电池用电极的制造方法包括：准备以Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005 以上0.15以下的范围内含有Si和Fe的蒸发原料的工序，以及使所述 蒸发原料溶解蒸发而在集电体上直接蒸镀或经由基底层进行蒸镀的工 序。本发明的锂电池用电极包含集电体以及在所述集电体上直接层叠 或经由基底层层叠的由SiFeyOx形成的负极活性物质膜，其中，0＜x＜2 且0.0001≤y/(1+y)≤0.03。